SEMI 之下的安全工作小組制定了一套適用于半導體及相關制造設備的環境、安全及健康的效能因子,并發展出SEMI S2國際安全指引的工業評估應用方式。目前符合SEMI S2 不僅符合了國際相關規定,也是半導體產業的保險公司所要求的必要條件之一。
SEMI S2 國際安全指引以效能考量為主,涵蓋半導體制造設備的環境、健康及安全條件。具體說來,SEMI S2涉及電氣、機械、防火、化學、輻射、噪音和防震等安全領域。
與其他SEMI指令相比,例如,SEMI S8(人體工學要求)和SEMI S10(風險評估)一起使用,SEMI S2代表了半導體廠家的基本安全要求。過去半導體業者為了降低機械危害的風險,采取非常多類別的防制與管理措施,其中最典型的措施是在采購設備系統時,即將SEMI S2安規認證列為必備的規格要求。
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